F54-XYT-300薄膜厚度測量儀具有集成的顯微鏡和實時攝像頭，可以精確監控膜厚測量點。小尺寸的測量光斑允許測量有圖案的樣品，并且可以改良在較粗糙的材料上的測量性能。

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