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KLA探針式臺階儀P-7
產品簡介：

KLA探針式臺階儀P-7：P-7支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產和研發環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。

產品型號：

更新時間：2024-11-20

廠商性質：代理商

訪問量：759

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產品介紹

KLA探針式臺階儀P-7產品描述

P-7支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產和研發環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。


P-7建立在P-17臺式探針輪廓分析系統的成功基礎之上。 它保持了P-17技術的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了很好的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。



KLA探針式臺階儀P-7



KLA探針式臺階儀P-7KLA探針式臺階儀P-7


KLA探針式臺階儀P-7主要功能

  •       臺階高度：幾納米至1000μm

  •       微力恒力控制：0.03至50mg

  •       樣品全直徑掃描，無需圖像拼接

  •       視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機

  •       圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

  •       軟件：簡單易用的軟件界面

  •       生產能力：通過測序，模式識別和SECS / GEM實現全自動化


主要應用

  •       臺階高度：2D和3D臺階高度

  •       紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

  •       形狀：2D和3D翹曲和形狀

  •       應力：2D和3D薄膜應力

  •       缺陷復檢：2D和3D缺陷表面形貌


工業應用

  •       大學、研究實驗室和研究所

  •       半導體和化合物半導體

  •       LED：發光二極管

  •       太陽能

  •       MEMS：微機電系統

  •       數據存儲

  •       汽車

  •       醫療設備


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